(一)現況介紹

　 　本實驗室現有主要核心設備係位於電機二館331室之「光電製程實驗室」（無塵室），佔樓板面積35坪，其中class100及1000無塵室佔地約28 坪，內容有光罩對準機、感應耦合電漿活性反應式離子蝕刻機、金屬濺鍍機、表面分析測厚儀、紫外光臭氧清潔機、電子束清潔鍍膜機、介質電子束蒸鍍機、快速退 火機、氧化物濺鍍機、真空金屬濺鍍機、全相製備顯微鏡、壓印檢測系統以及其他黃光製程設備。本實驗室可供製作三五族及四族半導體光電元件，包括發光二極 體、半導體雷射、光檢測器、光調制器、電晶體等。本實驗室自96年初開始建造，96年10月初，各項設備皆已進駐，開始試機，並已於97年1月初開放供全 校教師學生付費使用。

　 　另外已在99年初建立「能源光電構裝與測試共用實驗室」，尤其係充實其內發光二極體構裝與測試之設備。並動支所籌集之約一千萬元來採購太陽能電池量測系 統(量測太陽能電池效率)、高電流半導體測試儀（量測發光二極體發光強度及電特性）、光學桌、金屬跳線機（接上通電流之金線）、霍爾量測儀以及其他相關較 小設備。此實驗室位於電機二館325室，儀器已完成安裝，並對外開放，收費公開使用，其管理將納入原已建立之「光電製程實驗室」網路管理系統，在其管理委 員會架構下營運。目前該委員會召集人為楊志忠教授，經理為黃建璋教授。

(二)主要儀器設備

(三)服務項目

•光電製程實驗管理室協助使用者安全諮詢和講習並定期舉辦一般教育訓練。

•專業儀器的訓練課程。

•空間與儀器使用以及課程訓練的線上預約制度。

硬體部分

•專業的貴重儀器及週邊設備提供使用者研究實驗所需。

•提供無塵室必須之耗材補給，如口罩、手套、無塵紙、清潔紙、濾紙、基本氣體供應、基本化學藥 劑…等耗材的供應。

•提供置物櫃出租服務。

•無塵鞋衣代訂購、代送洗。