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研究計畫
 
 

總計劃:
電子化生活科技

 

子計劃1:
前瞻微波及系統構裝整合科技

摘要
重大突破
研究成果
重要論文

 

子計劃2:
Content 2.0:以使用者為中心之網際網路多媒體數位內容

摘要
重大突破
研究成果
重要論文

 

子計劃3:
系統晶片(SOC)技術研發

摘要
重大突破
研究成果
重要論文

 

子計劃4:
寬頻網路技術及可靠之優化服務應用

摘要
重大突破
研究成果
重要論文

 

子計劃5:
前瞻光子技術

摘要
重大突破
研究成果
重要論文

  研究計畫

子計畫5:前瞻光子技術Advanced Photonics Technologies

一、摘要

子計畫五努力的目標為經由研發新元件製作技術、新穎光電元件暨建立並應用先進的數值模型方法以追求光電技術領域的學術卓越,研究成果將經由在國際電機電子工程師學會與美國光學學會發行的重要光電期刊發表論文加以檢驗。本子計畫所研發的技術與製作的元件,大多將得以應用於新世代光纖通訊系統與網路中,並在「電子化生活科技」總計畫的範疇中扮演重要角色。本子計畫發展摻鉻晶體光纖研製與超寬頻可調光纖雷射應用、矽光子發光結構與波導元件光微機電元件等前瞻技術,並發展最新電磁數值分析模型用於各式元件設計。在晶體光纖研製方面,將研發超越目前在13001600米近紅外波長可調記錄的玻璃殼晶體光纖雷射以應用於未來超寬頻與隨處可用的全光光纖通訊,動態波長重組系統可因而實現。在矽光子技術方面,其一將研製高品質掺鉺矽奈米線陣列並探討其物理與光學特性,其二將探討以準分子雷射重塑以達成矽波導侧邊更均勻的技術以製成超低耗損的波導,其三將設計製作數種矽波導功能元件以及一種將光由光纖導至矽光子線波導的高效率耦光結構。在光微機電元件方面,將設計製作高分子材料微機電可變形鏡、新穎具徑向垂直梳形駆動制動器的二軸掃瞄器、以及結合高阜數1xN2波長選擇開闢的二軸掃瞄器。在電磁數值模擬與分析設計方面,將建立各式有效的頻域與時域方法,並在光子晶體、矽波導元件與相關結構方面深入探討。

 

二、重大突破

雙纖衣晶體光纖雷射

研究人員:黃升龍

晶體光纖雷射可有效解決傳統固態雷射的散熱不易及體積過大兩大問題,更可大幅減少材料降低成本。在7001000 nm的波段,由於有摻鈦藍寶石晶體可作增益介質,因此無論是鎖模雷射或可調波長雷射均發展的非常快速而應用廣泛,但是在12001600 nm之波段,雖有Cr4+:YAG可做為增益介質,但因為Cr離子不易以四價之氧化態存在,使得其當作增益介質時之增益過低,目前全球的研發團隊,所研製之Cr:YAG雷射,其雷射閥值至少都在400毫瓦以上,本人之實驗室最近利用雙纖衣之技術輔助CaOCr2O3之側鍍,成功的產生Cr4+:YAG晶體光纖雷射,其雷射閥值只有約50 mW,大幅提升了Cr4+:YAG在近紅外波段不論是短脈衝雷射或是可調波長雷射之應用潛力,更可結合目前已非常成熟之各式光纖主∕被動元件,開發全光纖雷射。圖5.1是實驗架構及產生之摻鉻晶纖雷射之L-I曲線。

 



圖5.1 雙纖衣摻鉻晶體光纖雷射之 (a)實驗架構 (b) L-I曲線插圖為雷射頻譜

 

三、研究成果

以紫外光脈衝雷射照射法研製BCB光波導

研究人員:王維新

本文探討以紫外光脈衝雷射直接照射法製作通道式BCB高分子光波導,實驗架構如圖5.2所示。本文首次針對其製程步驟波導特性、波導設計、材料折射率變化分析、及相關應用與優勢,作一系統性的研究與討論。在製程方面的特點是操作方式簡便省時,可避免傳統製程曝光顯影等步驟;完成之波導結構係埋入式如圖5.3所示,沒有脊形波導側壁粗糙之問題。在波導特性方面,於波長1548 nm下量得之傳播損耗為0.6 dB/cm。此外尚能藉由控制雷射光照射發數來調整波導折射率變化如圖5.4所示。在製程上能夠藉由此彈性調整的特性,得到不同半高寬比的輸出光場能量分佈如圖5.5所示,使得元件間耦合可達到最佳效率,有利於積體光學元件之整合。在材料分析方面,以電子束顯微鏡與原子力顯微鏡觀察經雷射照射之BCB波導表面,得到材料破壞產生之臨界條件與適合元件之製程範圍。再以傅立葉轉換紅外線光譜儀分析材料內部官能基之鍵結情形,深入探討材料受雷射照射後分子的鍵結改變,並以X射線光電子能譜分析原子含量,驗證並解釋BCB薄膜折射率增加之原因。 (Ref.: Liang-Yin Chen, Wan-Shao Tsai, Wen-Hao Hsu, Kuan-Yu Chen, and Way-Seen Wang, "Fabrication and Characterization of Benzocyclobutene Optical Waveguides by UV Pulsed-Laser Illumination," IEEE Journal of Quantum Electronics, Vol. 43, No. 4, PP.303-310, April 2007.)


 

5.2 以紫外光脈衝雷射直接照射法製作BCB光波導之實驗架構

 

 

5.3 以紫外光脈衝雷射直接照射法所製作之埋入式BCB光波導

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圖5.4 雷射光照射發數與波導折射率變化之關係圖

圖5.5 不同雷射發數所得到的輸出光場能量分佈圖


 

低應力之有機薄膜可調式光衰減器

研究人員:蘇國棟

光纖通訊相較於其他通訊系統有許多優點,主要為傳輸容量大與傳輸距離遠。現今的光通訊技術主要為分波多工器(WDM System)與光纖放大器的發明,可讓一條單模光纖同時傳送多個波長訊號,並且不需要將光訊號轉換為電子訊號做訊號放大,直接可以在全光學領域做訊號的放大,因此光纖通訊在這階段有了大躍進,位元速率高達了10Tb/s,奠定了光纖通訊截至目前為止無可取代的地位。光訊號經由雷射光源輸出,中間透過多工器(WDM MUX)將多個波長訊號多工偶合至一單一模態的光纖裡,然而訊號經由長距離的傳輸後能量會衰減,此時可用鍍鉺光纖放大器(Erbium Doped Fiber Amplifier, EDFA) 直接在光領域將光能量放大,不必透過光電訊號的轉換,最後再經由解多工器(WDM DEMUX)將各波長的訊號由單一模態光纖裡分開到各接收端做訊號處理。分波多工系統中,各波道的能量需要相等,所以光衰減器在光通訊系統中有重要平衡作用

在此子計畫六研發中的VOA的架構如圖5.6示,主要是由一光纖準直器(fiber collimator)與可形變之有機光學薄膜所組成。有機光學薄膜有兩層材料,一是作為機械結構層的有機材料,另一為反射光線的金屬反射層。光學薄膜功用類似鏡子,而且其可改變曲率成為凹面鏡。當鏡子平坦沒有形變時,光線幾乎沿原路徑反射回去,此時光能量衰減最小,偶合效率最高,但隨著鏡子曲率越大,光能量衰減便開始衰減。當我們使用80伏特電壓驅動, 可達到20 dB的衰減且其偏極化光衰減量可維持在0.3 dB左右

 

    

(a)                                                            (b)

圖5.6.1 (a)光衰減器架構 (b)可形變之有機光學薄膜.

 

 

   

(a)                                                            (b)

圖5.6.2 (a)光衰減器架構 (b)可形變之有機光學薄膜.

 

微機電1xN2波長選擇切換器之通道間響應分析

研究人員:蔡睿哲

1ÍN2波長選切換器(Wavelength-Selective Switch, WSS)在光纖通訊系統中可作為一高輸出埠之路由器(Router),其架構如圖5.7.1所示。我們於先前的研究中發現,在1ÍN2波長選切換器中,位於水平方向上輸出埠(即此輸出埠與輸入埠的位置,相連後可形成一水平線),其頻譜響應上可觀察到所謂的「通道間響應(Interchannel Response)」,此通道間響應是WDM系統中所不希望見到的;反之,位於垂直方向上的輸出埠則不會觀察到通道間響應(詳見圖5.7.2)。通道間響應對於波長選擇切換器來說是個負面的因子,因此我們必須儘可能將其壓抑,以提升通道的頻寬,並增加系統對雷射波長飄移之容忍度。

我們開發了一個以傅氏光學Fourier Optics﹞為理論基礎的模型,用以分析波長選擇切換器的通道間響應。此模型則證實了該響應與輸出埠位置之間的關聯性,因此我們可藉由調整輸出埠的位置來予以抑制。我們提出的改善方式,是將系統中的二維光纖陣列旋轉一小角度;如此一來,將不會有任何一個輸出埠位於水平方向上,通道間響應也可以因此獲得壓抑。根據我們的模擬分析,通道間響應除了與輸出埠的位置有關外,亦會受到微鏡片形狀及曲率的影響。分析的結果發現,若微鏡片形狀是方形且平整無曲率,光纖陣列旋轉10°20°即可分別達到8.2 dB32.5 dB之通道間響應壓抑;倘若微鏡片為八邊形(Fig.6.4.1)且鏡面曲率半徑(R)10 mm,光纖陣列旋轉10°20°的通道間響應壓抑分別是3 dB10 dB (實驗結果則分別是6.2 dB8.2 dB),如圖5.7.3所示。

 

圖5.7.1 Schematic of the 1xN2 wavelength-selective switch (WSS). A two-axis analog micromirror array is used for 2D beam steering. The telescope expands the size of the optical beam.

 

圖5.7.2 The spectral responses at the horizontal and vertical output ports. The arrows indicate the channel centers.

圖5.7.3 The simulation results for R =10 mm. Output spectra for 0°, 10°, and 20° rotations of the collimator array are calculated.

 

矽奈米波導之高效率光纖耦合器及MMI 極化分離器

研究人員:黃鼎偉

矽奈米線(nanowire)波導是以矽為基材所製作之截面小於500nm之奈米尺寸通道型光波導。由於其核心層()與包覆層(二氧化矽)間的折射率差異大,在奈米等級之波導結構上即可實現單模態光波導元件。由於矽奈米線波導技術可沿用現今極純熟之積體電路製程技術,可製作出高集積密度、大量生產之光電元件,因此它將是下世代光通訊與光電整合最有潛力的技術之一。我們已設計出高效能光纖與矽奈米線波導之耦合器,當光訊號由光先進入240nm厚的的奈米線波導時,其耦合效率可達75.4%,且反射損耗小於7.8%。同時我們也設計出矽奈米波導之多模態干涉式(MMI)極化分離器,其元件長度小於 150 mm。可應用在光纖通訊中作為耦光及極化分離與控制的用途。

圖5.8.1 Fiber to silicon photonic wire grating coupler

圖5.8.2 MMI polarization splitter on SOI

 

以平面波展開法計算光子晶體平板

研究人員:邱奕鵬

   光子晶體由於有折射率週期性變化的特點,所以頻帶出現與半導體相似的頻隙,而這項特殊的物理現象成為目前當紅的研究方向,許多元件皆對此加以設計。然而奈米尺度的三維光子晶體製程複雜,要求晶格配向嚴苛,因此利用現今製程技術即可製造出的平板型光子晶體成為另一研究方向。

    我們的分析是利用平面波展開法。首先,我們模擬正方形晶格的介質柱與六角形空氣洞的平板形光子晶體,可以發現導波模態,在平板結構中光在垂直方向因為受到折射率差異所以被侷限住,所以導波模態只能存在光椎下的區域中,另一方面,光在水平方向的自由與否則是像二維的光子晶體一樣,受到頻隙影響,也有類似 TETM 兩種極化模態產生。因此平板形光子晶體沒有所有方向都可侷限的頻隙,在此的頻隙是表示在平板內無法水平傳播,但垂直方向仍有輻射性模態。

接著,我們利用超晶格方法,模擬平板結構的波導頻帶圖。如下圖所示,模擬結果分別是正方形晶格的介質柱與六角形空氣洞的平板形光子晶體的耦合共振腔波導頻帶圖。使用耦合共振腔來製造波導,能夠降低傳播波的群速,這可以用在光通訊的延遲線,如果結合了非線性耦合共振腔,更可以做到全光的開關,這在高速光通訊上是非常重要的元件。

 

圖5.9.1

圖5.9.2

圖5.9.3

 

具任意三維各向異性之二維光子晶體有限元素分析

研究人員:張宏鈞

光子晶體為由具週期性組織的材質所形成的結構,可能產生稱為光子帶隙的頻率範圍,使電磁波無法在晶體中傳播。某些各向異性的材質,例如液晶,會被刻意加入光子晶體結構中以改變能帶結構,從而控制光子帶隙的行為。本研究發展一基於全波有限元素法之特徵值算法以分析具任意三維各向異性之二維光子晶體的平行面波傳播的能帶結構,此傳播現象中較簡單的橫向電場波與橫向磁場波可能無法清楚定義。因此,在不分離為橫向電場波與橫向磁場波的情況下,理論推導中同時將所有場量加以考慮,可獲致一全向量矩陣特徵值方程式,以波數的平方為特徵值。以此方程式,本研究深入檢驗了含有各向異性材質的正方晶格與三角晶格的能帶結構特性,並探討各向異性對於能帶結構形成的內在效應。我們發現在第一布洛瓦區中某些特定波向量方向的一些能帶結構的有趣關係,並提出這些現象的理論解釋(圖5.10.1)。利用此觀念,可以方便建構完整的能帶結構,圖5.10.2為一實例。(Optics Express, vol. 15, no. 24, pp. 15797–15811, 26 November 2007.)

 

 

 

 

 

 

 圖5.10.1 左:二維三角晶格之各向異性光子晶體截面圖 

中:液晶分子的旋轉角度。右:第一布洛瓦區

圖5.10.2 二維三角晶格之各向異性光子晶體在qc = 90f = 30度之能帶結構圖.

 

四、重要論文

ÿ        P. J. Chiang, C. P. Yu, and H. C. Chang, “Analysis of two-dimensional photonic crystals using a multidomain pseudospectral method,” Physical Review E, vol. 75, pp. 026703-1–026703-14, 20 February 2007.

ÿ        L. Y. Chen, W. S. Tsai, W. H. Hsu, K. Y. Chen, and W. S. Wang, “Fabrication and characterization of benzocyclobutene optical waveguides by UV pulsed-laser illumination,” IEEE J. Quantum Electron., vol. 43, pp. 303-310, April 2007.

ÿ        G. D. Su, Y. Yeh, C. Chiu, C. Lee, and T. Chen, “Fabrication and measurement of low stress polyimide membrane for high resolution variable optical attenuator,” IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron., vol. 13, pp.312-315, Mar/Apr. 2007.

ÿ        J. C. Chen, Y. S. Lin, C. N. Tsai, K. Y. Huang, C. C. Lai, W. Z. Su, R. C. Shr, F. J. Kao, T. Y. Chang, and S. L. Huang,“400-nm-bandwidth emission from a Cr-doped glass fiber,” IEEE Photonics Technology Letters, 19, No. 8, pp. 595-597, 15 April 2007.

ÿ        S. M. Hsu, M. M. Chen, and H. C. Chang, “Investigation of band structures for 2D non-diagonal anisotropic photonic crystals using a finite element method based eigenvalue algorithm,” Optics Express, vol. 15, pp. 5416–5430, 30 April 2007.

ÿ        H. J. Huang, C. P. Yu, H. C. Chang, K. P. Chiu, H. M. Chen, R. S. Liu, and D. P. Tsai, “Plasmonic optical properties of a single gold nano-rod,” Optics Express, vol. 15, pp. 7132–7139, 29 May 2007.

ÿ        J. C. Tsai*, C. Y. Yin, C. W. Sun, and M. C. Wu, “Analysis of the inter-channel response in a MEMS 1xN2 wavelength-selective switch,” Applied Optics, vol. 46, pp. 3227–3232, 1 June 2007.

ÿ        Cheng-Chih Lai, Chin-Yu Chang, Yuan-Yaw Wei, and Way-Seen Wang, “Study of gamma-irradiation damage in LiNbO3 waveguides,” IEEE Photonics Technology Letters, vol. 19, pp. 10021004, July 2007.

ÿ        Kuang-Li Lee, Chia-Wei Lee, Way-Seen Wang, and Pei-Kuen Wei, "Sensitive biosensor array using surface plasmon, resonance on metallic nanoslits," Journal of Biomedical Optics, vol. 12(4), pp. 044023-1~ 044023-5, July 2007.

ÿ        L. M. Lee, S. C. Pei, D. F. Lin, M. C. Tsai, T. M. Tai, P. C. Chiu, D. H. Sun, A. H. Kung, and S. L. Huang, 2007, “Generation of tunable blue/green laser using ZnO:PPLN crystal fiber by self-cascaded second order nonlinearity,” Journal of the Optical Society of America B, 24, pp. 19091915, August 2007.

ÿ        Wan-Shao Tsai, Way-Seen Wang, and Pei-Kuen Wei, “Two-dimensional refractive index profiling by using differential near-field, scanning optical microscopy,” Applied Physics Letters, vol. 91, pp. 061123-1~061123-3, August 2007.

ÿ        Hung-Chih Lu and Way-Seen Wang, “Analysis of multimode interference coupler with a width of arbitrary-exponent binomial function," IEEE/OSA Journal of Lightwave Technology, vol. 25, pp. 28742878, September 2007.

ÿ        M. F. Chen, H. C. Chang, A. S. P. Chang, S. Y. Lin, J. Q. Xi, and E. F. Schubert, “Design of optical path for wide-angle gradient-index antireflection coatings,” Applied Optics, vol. 46, pp. 6533–6538, 10 September 2007.

ÿ Wen-Hung Huang and Way-Seen Wang, “Gallium In-diffusion for the fabrication of Lithium Niobate optical waveguide,” IEEE Photonics Technology Letters, vol. 19, pp. 1679–1681, October 2007.

ÿ        S. M. Hsu and H. C. Chang, “Full-vectorial finite element method based eigenvalue algorithm for the analysis of 2D photonic crystals with arbitrary 3D anisotropy,” Optics Express, vol. 15, pp. 15797–15811, 26 November 2007